کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10226359 1701262 2019 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polarization-standing-wave interferometer for displacement measurement
ترجمه فارسی عنوان
تداخل سنجی قطبی شدن ایستاده برای اندازه گیری جابجایی
کلمات کلیدی
تداخل سنج مستمر، اندازه گیری جابجایی، چهارگوشه فاز قطبی شدن،
ترجمه چکیده
یک تداخل سنج اپتیکال اپتیکال با استفاده از تکنیک قطبش برای اندازه گیری جابجایی پیشنهاد شده است. یک صفحه پراکنده نازک نازک به سمت میدان نوری ایستاده وارد شده است که توسط تداخل پرتوهای نور پرتوهای پیشین و عقب ساخته شده است. با تشخیص تغییرات فاز نور پراکنده از صفحه پراکندگی با تکنیک کوادراتور فاز پلاریازیس، جابجایی دقیقا می تواند تعیین شود. نتایج تجربی نشان می دهد که این تداخل سنجی مجهز به قطبش مجهول می تواند جابه جایی را در مقیاس ده میلیون میلیمتر با وضوح نانومتر اندازه گیری کند. خطای غیر خطی دوره ای ناشی از تداخل چند پرتو نیز دقیق است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی
An optical standing-wave interferometer using a polarization technique for displacement measurement is proposed. An ultra-thin scattering plate is inserted into the optical standing-wave field, which is built by the interference of the forward- and backward-propagating light beams. By means of detecting the phase variations of the scattered light from the scattering plate with the polarization phase quadrature technique, the displacement can be determined precisely. The experimental results demonstrate that this polarization-standing-wave interferometer can measure displacement on a scale of tens of millimeters with nanometer-scale resolution. The periodic nonlinear error caused by the multi-beam interference is also detailed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics & Laser Technology - Volume 111, April 2019, Pages 110-114
نویسندگان
, ,