Framework to model neutral particle flux in convex high aspect ratio structures using one-dimensional radiosity

ما در حال حاضر یک چارچوب محاسباتی کارآمد برای محاسبه شار خنثی در سازه های نسبتا بزرگ در شبیه سازی ایزو پلاسما سه بعدی. چارچوب مبتنی بر یک رویکرد رادیوی یک بعدی است و برای شبیه سازی حفره های متقارن چرخشی محدب و ترانشه های متقارن محدب با یک مقطع ثابت استفاده می شود. چارچوب در نظر گرفته شده است که جایگزین مرحله کامل شبیه سازی سه بعدی مورد نیاز برای محاسبه شار خنثی در شبیه سازی اچینگ پلاس می باشد. به خصوص برای ساختار نسبتا بزرگ نسبت، تلاش محاسباتی مورد نیاز برای انجام شبیه سازی کامل سه بعدی شار خنثی در رزولوشن مکانی دلخواه، با محدودیت های زمان واقعی شبیه سازی مواجه است. نتایج ما با آنچه که توسط شبیه سازی ردیابی سه بعدی سه بعدی مونت کارلو برای نسبت های مختلف جنبه و هندسه های محدب بدست آمده است، توافق دارند. با استفاده از این چارچوب، ما یک تحلیل جامع از نفوذ خواص هندسی ساختارهای نسبتا بزرگ و همچنین احتمال چسبندگی ذرات بر روی شار ذرات خنثی ارائه می کنیم.