کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5449430 | 1512527 | 2017 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
3-D surface profile measurement using spectral interferometry based on continuous wavelet transform
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This study proposes a signal analysis technique that uses continuous wavelet transform for signal processing in a spectral domain optical coherence tomography system. Our method enables us to calculate the optical path difference simply by taking advantage of the fact that the product of the phase and wavelength becomes constant. Experimental results obtained using a pair of gauge blocks with a thickness difference of 40 µm confirm that the repetitive measurement accuracy was 65.1 nm. A demonstration of the three-dimensional surface profile measurement indicates that the rms measurement error is 0.17 µm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 396, 1 August 2017, Pages 216-220
Journal: Optics Communications - Volume 396, 1 August 2017, Pages 216-220
نویسندگان
Takuma Serizawa, Takamasa Suzuki, Samuel Choi, Osami Sasaki,