کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5467889 1518631 2017 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The influence of landing points on the sputtering of mono-crystal solids due to cluster impacting
ترجمه فارسی عنوان
تأثیر امتیازات فرود بر اسپکتروفتگی جامدات یک کریستال به دلیل تاثیر خوشه ای
ترجمه چکیده
مکانیزم پاشش به علت تأثیر خوشه ای که به طور گسترده مورد مطالعه قرار گرفته است، یک مشکل مهم اما غیرقابل حل است. در تحقیق حاضر، ما در مورد تاثیر نقطه فرود بر اسپری شدن با روش پویایی مولکولی بحث می کنیم. نتایج نشان می دهد که نقاط فرود دارای اهمیت ویژه ای در عملکرد اسپری در زمانی که دمای هدف کم است، نقش مهمی ایفا می کند. نقاط فرود خاص می تواند الگوهای خاص لکه ای را ایجاد کند که منجر به تولید اسپری های مختلف و جهت حرکت اتم های پر شده می شود. مکانیسم این پدیده این است که فرود خاص، همدلی و انحصاری بودن شبکه هدف را حفظ می کند که بر عملکرد اسپری تاثیر می گذارد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی
The mechanism of sputtering due to cluster impacting which has been widely studied is an important but unsolved problem. In present research, we discuss the effect of the landing point on the sputtering with the method of molecular dynamics. The results show that the landing points play significant roles on sputter yield when the temperature of target is low. Specific landing points can cause particular sputtering patterns which lead to different sputtering yield and moving directions of sputtered atoms. The mechanism of this phenomenon is that specific landing keeps symmetries and anisotropies of target lattice, which influence the sputtering yield.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 391, 15 January 2017, Pages 52-56
نویسندگان
, , , , ,