کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942450 1450290 2018 26 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Integration of low-loss inductors on thin porous silicon membranes
ترجمه فارسی عنوان
یکپارچگی القایی کم و از دست دادن در غشاهای سیلیکونی غلیظ متخلخل
کلمات کلیدی
القایی بر روی تراشه، سیلیکون متخلخل، عامل کیفیت، فرکانس رادیو، اچینگ الکتروشیمیایی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
یکپارچگی القایی کم و از دست دادن در غشاهای سیلیکونی غلیظ متخلخل
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 194, 5 July 2018, Pages 96-99
نویسندگان
, , , , ,