Control and broadband monitoring of transparent multilayer thin films deposited by magnetron sputtering

یک سیستم رسوب پلاستیکی چند لایه طراحی شده است که کنترل و نظارت بر فرایند پهنای باند را اجرا می کند. در حال اجرا بر روی یک الگوریتم ساده، سیستم دقیقا ضخامت هر یک از چند لایه را کنترل می کند و از این طریق اجتناب از ایجاد خطای ضخامت در طول فرایند رسوب ایجاد می شود. سیستم که همچنین توانایی نظارت بر فرایند را می توان بر روی هر پلتفرم اجرا کرد. پوشش ضد انفجار که توسط سیستم جدید سپرده شد، مشخصات طیفی استانداردهای تجاری را به خود اختصاص داد.