کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8961465 | 1646496 | 2018 | 57 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Control of physical and microstructural properties in molybdenum by direct current magnetron sputtering deposition producing bilayer thin film
ترجمه فارسی عنوان
کنترل خواص فیزیکی و ریزساختاری مولیبدن در اثر رسوب پاشش مگنترون جریان مستقیم تولید فیلم نازک دو لایه
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سیستم های میکرو الکترومکانیکی، فیلم نازک، استرس باقی مانده، کریستالوگرافی اشعه ایکس، زبری سطح، مولیبدن، بیلیر، اسپری مگنترون،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Molybdenum (Mo) thin films are widely used in microelectromechanical systems (MEMS) applications. Mo bilayer deposition by direct current (DC) magnetron sputtering has been proposed in order to attain the desired smooth surface, small in-plane tensile stress and high degree crystallisation of Mo thin film for the fabrication of MEMS actuators and electrodes. The influences of sputtering time (10â¯min-40â¯min) and sputtering DC power (100â¯W-250â¯W) on the physical and microstructural properties of single layer Mo thin film have been evaluated. The optimised sputtering conditions for bottom and top layer of Mo bilayer have been determined and the individual influence of each layer on the resulting Mo bilayer has been discussed. Our studies reveal that the deposition of top Mo layer with small surface roughness but high in-plane tensile stress has reduced the high surface roughness of bottom Mo layer and simultaneously retained the small in-plane tensile stress. Reducing the sputtering time and/or using similar sputtering power for bottom and top layers improved the crystallinity of Mo bilayer along the preferred ã110ã direction. Mo bilayer thin films of total thicknessâ¯<â¯1â¯Î¼m, crystallite size >19â¯nm, surface roughness <2.5â¯nm and in-plane tensile stress <500â¯MPa have been attained.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 665, 1 November 2018, Pages 17-28
Journal: Thin Solid Films - Volume 665, 1 November 2018, Pages 17-28
نویسندگان
Rhonira Latif, Mohd Faizal Aziz, Burhanuddin Yeop Majlis,