Elemental analysis down to the single atom with electron beams

Recently the possibilities of chemical analysis by means of electron energy-loss spectroscopy (EELS) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX) have been pushed to the single atom limit. Here we show examples for successful single-atom spectroscopy in low-dimensional materials using scanning transmission electron microscopy (STEM) together with EELS and EDX.

RésuméAu cours des années récentes, les techniques d'analyse spectroscopique de perte d'énergie (EELS) et d'émission X (EDX) ont été poussées jusqu'à l'identification d'atomes individuels. Nous présentons ici une sélection de résultats récents acquis en microscopie électronique à balayage en transmission (STEM) équipée pour les spectroscopies EELS et EDX, qui montrent des succès enregistrés sur des atomes uniques au sein de matériaux de basse dimensionnalité.