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1858334 Comptes Rendus Physique 2011 10 Pages PDF
Abstract

Micro electromechanical systems (MEMS) and mechanical effects of quantum fluctuations become strongly related. MEMS have allowed the production of important experimental results such as quantitative measurements of the Casimir force at the micro- and nanoscales. MEMS are used to probe these effects because they are sensitive to them and engineers will certainly have to increasingly consider the effects of quantum and thermal fluctuations in the design of MEMS that are used as actuators and sensors. These effects on MEMS are controlled by the electron–photon coupling. These questions are then coupled to new fields of research, such as photonics and plasmonics.

RésuméLes microsystèmes électromécaniques (MEMS) et les effets mécaniques dus aux fluctuations quantiques sont fortement reliés. Les MEMS ont permis la mesure quantitative de la force de Casimir à lʼéchelle micro et nanomètrique. Si les MEMS sont une bonne sonde de ces effets, cʼest parce quʼils y sont très sensibles et cela signifie la nécessité pour les ingénieurs de mieux prendre en compte à lʼavenir lʼeffet des fluctuations quantiques ou thermiques sur les MEMS utilisés comme capteurs ou actionneurs. Ces effets sont dus aux propriétés du couplage électron–photon et ces questions sont ainsi liées à la plasmonique et à la photonique.

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