Infrared sensors based on multi-wall carbon nanotube films

In order to fabricate novel infrared sensors, dense films of multi-wall carbon nanotubes have been grown on silicon and alumina substrates, using Plasma enhanced Chemical Vapour Deposition technique. The physical and optical characteristics of the devices were studied using a variety of methods. The carbon nanotube on silicon device showed a peak response at a wavelength of 1.02 μm. The infrared response of the carbon nanotube on alumina device showed that the detection behavior was consistent with a bolometric effect. Measurements have also revealed a wide spectral response from the visible to the long-wave infrared for that sample.

RésuméDes couches denses de nanotubes de carbone multi-parois ont été synthétisées par un procédé plasma sur des substrats de silicium et d'alumine dans le but de fabriquer un nouveau type de capteur infrarouge. Les propriétés physiques et optiques des dispositifs ont été étudiées grâce à diverses méthodes. Les dispositifs à base de nanotubes sur silicium démontrent une réponse infrarouge maximum à une longueur d'onde de 1,02 μm. La réponse infrarouge des dispositifs de nanotubes sur alumine peut être expliquée par un effet bolométrique. Il est aussi déterminé que la réponse spectrale de cet échantillon s'étend du visible à l'infrarouge lointain.