دانلود مقالات ISI درباره فناوری میکرو الکترومکانیکی + ترجمه فارسی

فناوری میکرو الکترومکانیکی یا MEMS فناوری دستگاه های مکانیکی بسیار کوچک با نیروی محرکه ی الکتریکی می باشد که در مقیاس نانو جزو نانو سامانه های الکترو مکانیکی و نانوفناوری می باشند. سامانه های MEMS از اجزایی به اندازه ی ۱ تا ۱۰۰ میکرون(میکرو متر) ساخته می شوند و دستگاه های MEMS محدوده ی اندازه شان از ۲۰ میکرون تا یک میلی متر می باشد. آنها معمولاً از یک واحد مرکزی پردازش داده و چند قطعه از قبیل ریز حسگرها جهت تراکنش با بیرون تشکیل می شوند. MEMS زمانی عملی شد که توانست با استفاده از فناوری های اصلاح شده ی ساخت قطعات نیمه هادی که معمولاً برای ساخت قطعات الکترونیکی استفاده می شوند ساخته شود. این فناوری ها عبارتند از: قالب گیری و آبکاری فلزی،کنده کاری تر و خشک،ماشین کاری با تخلیه برقی و فناوری های دیگر که امکان ساخت دستگاه های کوچک را فراهم می کنند. یک مثال اولیه از دستگاه های MEMS، تشدید کننده است؛ یک تشدید کننده ی یکپارچه ی برقی مکانیکی. بسته به وسیله و بازار هدف، فناوری MEMS می تواند با استفاده از چند ماده و روش مختلف ساخت عملی شود. مواد برای ساخت MEMS: ۱٫سیلیکون: سیلیکون در شکل بلور تکی، تقریباً یک ماده ای است که وقتی خم شود پسماند ندارد، بنابراین تقریباً تلفات انرژی نداریم. روش های پایه برای تولید همه ی وسیله های MEMS سیلیکونی عبارتند از رسوب دهی لایه های مواد، الگو دهی به این لایه ها به وسیله لیتو گرافی نوری و سپس کنده کاری برای تولید شکل های مورد نیاز. ۲٫پلیمر ها: سیلیکون بلورین هنوز ماده ای پیچیده و نسبتاً گران قیمت است. از سوی دیگر پلیمرها می توانند در حجم عظیم و با تنوع زیاد از نظر خواص مواد تولید شوند. وسیله های MEMS را می توان از پلیمرها با فرایندهایی مانند قالب گیری تزریقی،نقش برجسته یا حکاکی دو سویه ساخت. ۳٫فلزها: وقتی فلزها در محدوده ی خود به کار روند می توانند درجه ی اطمینان بالایی را نشان دهند. فلزهای رایج شامل طلا، نیکل، آلومیوم، مس، کرومیوم، تیتانیوم، تنگستن، پلاتینیوم و نقره می باشند.