![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Precursor Cat-CVD a-Si films for the formation of high-quality poly-Si films on glass substrates by flash lamp annealing
Keywords: بستر شیشه ای; Catalytic CVD; Flash lamp annealing; Polycrystalline Si; Hydrogen content; Dehydrogenation; Glass substrate; Adhesion; Plasma-enhanced CVD