کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10226336 1701261 2019 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Metrological set-up for calibrating 2-dimensional grid plates with sub-micrometre precision
ترجمه فارسی عنوان
تنظیم مترولوژی برای کالیبراسیون صفحات شبکه 2 بعدی با دقت زیرمیکرومتر
کلمات کلیدی
کالیبراسیون، ردیابی، مترولوژی مختصات نوری، تداخل سنجی لیزری، صفحات شبکه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی کنترل و سیستم های مهندسی
پیش نمایش مقاله
تنظیم مترولوژی برای کالیبراسیون صفحات شبکه 2 بعدی با دقت زیرمیکرومتر
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Measurement - Volume 132, January 2019, Pages 60-67
نویسندگان
, , ,