کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10618969 988203 2005 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural studies of zinc oxide films grown by RF magnetron sputtering
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد بیومتریال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Structural studies of zinc oxide films grown by RF magnetron sputtering
چکیده انگلیسی
SAW devices are fabricated with “IDT(Al)/ZnO/SiO2Si” configuration. The frequency response of these devices is measured for their characterization.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Synthetic Metals - Volume 148, Issue 1, 3 January 2005, Pages 37-41
نویسندگان
, , , , , , , ,