کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10672994 | 1010196 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Integrated visual nanometric three-dimensional positioning and inspection in the automated assembly of AFM probe arrays
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper presents the design of a monocular three-dimensional artificial vision system attached to a 20Ã microscope lens for precision and microsystems applications. Possible uses in assembly include: positioner calibration, sensor-based part handling, positioning, and inspection in the nanometric range. The developed image acquisition method - along one direction (in steps of 100Â nm), the depth-from-focus algorithm and subpixel interpolation (of 5 acquisitions for concurrent localization and inspection), allow to overcome the physical optics limitation achieving a resolution under 200Â nm. The vision strategy and algorithms, described in the paper, have been validated by handling an AFM probe array by a micropositioner.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: CIRP Annals - Volume 59, Issue 1, 2010, Pages 13-16
Journal: CIRP Annals - Volume 59, Issue 1, 2010, Pages 13-16
نویسندگان
M. Lanzetta, M.L. Culpepper,