کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
11020972 | 1715047 | 2018 | 11 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Full custom MEMS design: A new method for the analysis of motion-dependent parasitics
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Due to the lack of sophisticated component libraries for microelectromechanical systems (MEMS), highly optimized MEMS sensors are currently designed using a polygon-driven design flow. The advantage of this design flow is its accurate mechanical simulation, but it lacks a method for analyzing the dynamic parasitic electrostatic effects arising from the electric coupling between (stationary) wiring and structures in motion. In order to close this gap, we present a method that enables the parasitics arising from in-plane, sensor-structure motion to be extracted quasi-dynamically. With the method's structural-recognition feature we can analyze and optimize dynamic parasitic electrostatic effects.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Integration - Volume 63, September 2018, Pages 362-372
Journal: Integration - Volume 63, September 2018, Pages 362-372
نویسندگان
Axel Hald, Pekka Herzogenrath, Jürgen Scheible, Jens Lienig, Johannes Seelhorst, Peter Brandl,