کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1430965 | 987215 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Modelling and analysis of MEMS sensor based on piezoresistive effects
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
بیومتریال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this paper, we present a detailed study and analysis of piezoresistive effects on a membrane suspended in air based sensor. The variation of its capacitance under flow of stress or gas is investigated. The developed approach allows us to extract the material parameters in accurate way.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science and Engineering: C - Volume 27, Issue 4, 16 May 2007, Pages 691–694
Journal: Materials Science and Engineering: C - Volume 27, Issue 4, 16 May 2007, Pages 691–694
نویسندگان
L. Kaabi, A. Kaabi, J. Sakly, F. AbdelMalek,