کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1533600 | 1512568 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Amplified phase measurement of thin-film thickness by swept-source spectral interferometry
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری فاز تقویت شده ضخامت نازک با استفاده از تداخل سنجی طیفی منبع
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
فیلم های نازک تداخل سنجی، اندازه گیری فاز
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
چکیده انگلیسی
Thin-film thickness measurement based on spectral phase method is limited by the magnitude of the nonlinear spectral phase. To increase the sensitivity, a swept-source interferometer with recirculating sample loop is developed to obtain an amplified spectral phase from the thin-film under measurement. The spectral phase of the complex reflectivity of the thin-film can be accumulated in multiple passages of the probing light to the thin-film. After removing the linear spectral phase from the retrieved spectral phase, amplified nonlinear spectral phase corresponding to the thin-film is obtained. Using this amplified nonlinear spectral phase in a fitting model, the thin-film thickness can be determined with an enhanced precision.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 355, 15 November 2015, Pages 562–566
Journal: Optics Communications - Volume 355, 15 November 2015, Pages 562–566
نویسندگان
Yi Shen, Zhiyan Chen, Wen Bao, Cong Pan, Chen Zhao, Peng Li, Zhihua Ding,