کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1697229 | 1012043 | 2012 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Probing system for measurement of micro-scale components
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The need for quality control of the complex micro-structure has been growing due to increased production of parts with complex 3D micro-scale features. However, wide use of 3D metrology of miniature parts is difficult due to the lack of cost-effective and precise probing system at the micro-scale. This paper introduces a new probing system using a wire-based probe and acoustic emission (AE)-based sensing method. The design of the probing system allows the size of the probe to be varied relatively easily. Repeatability of less than 1 μm has been achieved with the proposed probing system.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Manufacturing Processes - Volume 14, Issue 2, April 2012, Pages 174–180
Journal: Journal of Manufacturing Processes - Volume 14, Issue 2, April 2012, Pages 174–180
نویسندگان
Chan-Seo Goo, Martin B.G. Jun, Akinori Saito,