کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1808581 | 1525163 | 2016 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Presentation and characterization of novel thick-film PZT microactuators
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We propose in this paper the characterization of a new generation of piezoelectric cantilevers called thick-films piezoelectric actuators. Based on the bonding and thinning process of a bulk PZT layer onto a silicon layer, these cantilevers can provide better static and dynamic performances compared to traditional piezocantilevers, additionally to the small dimensions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Physica B: Condensed Matter - Volume 486, 1 April 2016, Pages 17–20
Journal: Physica B: Condensed Matter - Volume 486, 1 April 2016, Pages 17–20
نویسندگان
Vincent Chalvet, Didace Habineza, Micky Rakotondrabe, Cédric Clévy,