کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1848351 | 1033469 | 2006 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preliminary design of multi-function LIGA beamline
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک هسته ای و انرژی بالا
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
One design of multi-function LIGA beamline has been reported. In this design, two plane mirrors and a series of filters have been employed. One can choose the spectrum range of X-ray easily according to the exposure requirement by adjusting the grazing angle of mirrors and the thickness of filters. And the spot size in the horizontal direction is up to 120mm, which is large enough for exposing 5 inch silicon slice. The typical exposure time is about 1.2h, 1.8h, 0.5h, corresponding to PMMA thickness of 500μ m, 200 μ 20 μ m, respectively.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Science and Techniques - Volume 17, Issue 1, February 2006, Pages 11-15
Journal: Nuclear Science and Techniques - Volume 17, Issue 1, February 2006, Pages 11-15
نویسندگان
Na-Xiu WANG, Hong-Wei ZHENG,