کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4986672 1454953 2017 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Chemical mechanical planarization of germanium using oxone® based silica slurries
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی شیمی کلوئیدی و سطحی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Chemical mechanical planarization of germanium using oxone® based silica slurries
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Wear - Volumes 376–377, Part A, 15 April 2017, Pages 86-90
نویسندگان
, , , ,