کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5008229 1461838 2017 24 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The effect of temperature gradient on the variation of surface topography and reflectivity of anisotropically etched silicon wafers
ترجمه فارسی عنوان
اثر گرادیان درجه حرارت بر تغییرات توپوگرافی سطح و بازتابی از ورقه های سیلیکونی ایزوله شده
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش مقاله
اثر گرادیان درجه حرارت بر تغییرات توپوگرافی سطح و بازتابی از ورقه های سیلیکونی ایزوله شده
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 262, 1 August 2017, Pages 1-9
نویسندگان
, , , , , , , , ,