کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5008573 | 1461850 | 2016 | 21 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A low voltage silicon micro-pump based on piezoelectric thin films
ترجمه فارسی عنوان
یک میکرو پمپ سیلیکونی با ولتاژ پایین بر اساس فیلمهای نازک پیزوالکتریک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
We fabricated a functional micro-pump made of silicon and PZT thin films with standard MEMS technology. This pump can self-prime, works in both ways and pumps both air and water. Typical figures in water are 3.5 μL/min-flow rate at 1 Hz, no downstream pressure and 24 V-actuation voltage. At this voltage, the micro-pump valves withstand 32 mbar downstream pressure. The main advantage of this micro-pump based on piezoelectric films compared to its bulk counterparts is that it allows for low voltage operation. Less than 50 μW are needed to actuate the pump membranes at 1 Hz.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 250, 15 October 2016, Pages 35-39
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 250, 15 October 2016, Pages 35-39
نویسندگان
Pierre-Henri Cazorla, Olivier Fuchs, Martine Cochet, Sandrine Maubert, Gwenael Le Rhun, Yves Fouillet, Emmanuel Defay,