کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی نسخه تمام متن
540435 871311 2017 4 صفحه PDF ندارد دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله
Roller nanoimprint lithography for flexible electronic devices of a sub-micron scale
ترجمه فارسی عنوان
لیتوگرافی غلطک nanoimprint برای دستگاه های الکترونیکی انعطاف پذیر از مقیاس زیر میکرون
کلمات کلیدی
طرحنگار چاپی (NIL)؛ لیتوگرافی غلطک nanoimprint (RNIL)؛ بستر انعطاف پذیر
Nanoimprint lithography (NIL); Roller nanoimprint lithography (RNIL); Flexible substrate
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
چکیده انگلیسی

This paper proposes a new concept of a RNIL (roller nanoimprint lithography) system. The system does not require the roll stamp that is necessary in the conventional RNIL system, and it easily transfers patterns from a hard stamp to a flexible substrate. Generally, hard stamps such as Si wafers are of a circular shape. While imprinting with a hard stamp using the RNIL system, the pressing force of the press roller in the system varies as the length of the contact line between the circular-type hard stamp and the roller changes. In this study, the contact force profile is presented and is then implemented. Micro- and nano-scale patterns are transferred from Si stamps onto thin and flexible PC (polycarbonate) substrates. Then performance of the system is the evaluated by SEM images.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 88, Issue 8, August 2011, Pages 2017–2020
نویسندگان
, , , , , ,