کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5447379 | 1511503 | 2017 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Quasi-monodisperse β-SiC nanospheres: Synthesis and application in chemical-mechanical polishing
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A composite surfactants-assisted mix-solvothermal route has been presented to synthesize quasi-monodisperse silicon carbide (β-SiC) nanospheres in hexane and water mixed solvent at 180 °C. By changing hexane/water ratio, the size of β-SiC nanospheres can be effectively adjusted. Benefit from the spherical shapes and nearly uniform sizes, quasi-monodisperse β-SiC nanospheres exhibit excellent planarization ability and material removal rate. Take silicon wafers polishing as an example, compared with irregular β-SiC nanoparticles, quasi-monodisperse β-SiC nanospheres decrease the surface roughness by 50-74% and increase the removal rate by 17-30%.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 103, April 2017, Pages 1-5
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 103, April 2017, Pages 1-5
نویسندگان
Meng Zhang,