کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
545812 | 1450556 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Near-field detection of photon emission from silicon with 30 nm spatial resolution
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We demonstrate a scanning near-field photon emission microscope (SNPEM) for monitoring photon emission sites with spatial resolution beyond the diffraction limit. Success of SNPEM analysis strongly depends on the sensitivity of photon emission detection. We show that scattering dielectric probe (SDP) is capable of providing both sub-100 nm resolution and compatible sensitivity at emission wavelengths between 1 μm and 1.4 μm. We propose a two step fabrication method which avoids any metal coating and ensures repeatability of parameters of different probes. We also predict that fabrication of SDP from a multi-mode fiber instead of a single mode fiber can significantly improve the collection efficiency of the probe.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 48, Issues 8–9, August–September 2008, Pages 1285–1288
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 48, Issues 8–9, August–September 2008, Pages 1285–1288
نویسندگان
D. Isakov, A.A.B. Tio, T. Geinzer, J.C.H. Phang, Y. Zhang, L.J. Balk,