دانلود رایگان مقاله ISI : یک دستگاه میکرو الکترومکانیکی مبتنی بر ارتعاش انرژی با نیتروژن آلومینیوم پیزوالکتریک نازک فیلم پوشیده شده توسط پالس جریان مستقیم مگنترون

A micro-electromechanical systems based vibration energy harvester with aluminum nitride piezoelectric thin film deposited by pulsed direct-current magnetron sputtering

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Energy - Volume 228, 15 October 2018, Pages 881-890

Xianming He, Quan Wen, Zhuang Lu, Zhengguo Shang, Zhiyu Wen,