کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7137541 1461895 2014 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography
ترجمه فارسی عنوان
میکرو سازه ی مشبک های شکسته با یک فرایند تقویت ارتفاع دو مرحله ای بر اساس لیتوگرافی اشعه ایکس نرم و عمیق
کلمات کلیدی
لیگا، نمایش صفحه نمایش جلو، رهبری، لیتوگرافی اشعه ایکس، الکترو کاشی،
ترجمه چکیده
رویکرد توصیف شده مناسب برای ساخت ساختارهای نیکل است که مخصوصا بهعنوان ابزار اصلی در فرایندهای منبتکاری گرم در طیف گستردهای از اپلیکیشنها مورد استفاده قرار میگیرد که نیاز به میکرواستارهای غیر دوتایی دارند.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش مقاله
میکرو سازه ی مشبک های شکسته با یک فرایند تقویت ارتفاع دو مرحله ای بر اساس لیتوگرافی اشعه ایکس نرم و عمیق
چکیده انگلیسی
The described approach is suitable for the fabrication of nickel structures, to be used in particular as master tools in hot embossing processes, in a broad range of optical applications requiring non-binary microstructures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 205, 1 January 2014, Pages 111-118
نویسندگان
, , , , , ,