کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
747925 | 1462234 | 2014 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Silicon nanowires integrated with CMOS circuits for biosensing application
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Silicon nanowires integrated with CMOS circuits for biosensing application Silicon nanowires integrated with CMOS circuits for biosensing application](/preview/png/747925.png)
چکیده انگلیسی
We describe a silicon nanowire (SiNW) biosensor fabricated in a fully depleted SOI CMOS process. The sensor array consists of N by N pixel matrix (N2 pixels or test sites) and 8 input–output (I/O) pins. In each pixel a single crystalline SiNW with 75 by 20 nm cross-section area is defined using sidewall transfer lithography in the SOI layer. The key advantage of the design is that each individual SiNWs can be read-out sequentially and used for real-time charge based detection of molecules in liquids or gases.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Solid-State Electronics - Volume 98, August 2014, Pages 26–31
Journal: Solid-State Electronics - Volume 98, August 2014, Pages 26–31
نویسندگان
G. Jayakumar, A. Asadollahi, P.-E. Hellström, K. Garidis, M. Östling,