کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
748303 | 894753 | 2008 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Single-grain Si TFTs and circuits fabricated through advanced excimer-laser crystallization
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Thin film transistors (TFTs) were fabricated inside a location-controlled, large Si grains through an advanced excimer-laser crystallization with a low temperature process. The field-effect mobility for electrons of the single-grain Si TFTs was as high as 597 cm2/V s. CMOS inverters are fabricated inside the location-controlled grain. Propagation delay per stage of 3.1 ns was successfully obtained with a supply voltage of 8 V.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Solid-State Electronics - Volume 52, Issue 3, March 2008, Pages 353–358
Journal: Solid-State Electronics - Volume 52, Issue 3, March 2008, Pages 353–358
نویسندگان
Ryoichi Ishihara, Vikas Rana, Ming He, Y. Hiroshima, S. Inoue, Wim Metselaar, Kees Beenakker,