کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7963645 | 1514150 | 2017 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Angular and velocity distributions of tungsten sputtered by low energy argon ions
ترجمه فارسی عنوان
توزیع زاویه ای و سرعت تنگستن که به وسیله یون های آرگون کم انرژی مورد استفاده قرار می گیرد
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی انرژی
انرژی هسته ای و مهندسی
چکیده انگلیسی
Sputtering by ions with low near-threshold energies is investigated. Experiments and simulations are conducted for tungsten sputtering by low-energy, 85-200Â eV Ar atoms. The angular distributions of sputtered particles are measured. A new method for molecular dynamics simulation of sputtering taking into account random crystallographic surface orientation is developed, and applied for the case under consideration. The simulations approximate experimental results well. At low energies the distributions acquire “butterfly-like” shape with lower sputtering yields for close to normal angles comparing to the cosine distribution. The energy distributions of sputtered particles were simulated. The Thompson distribution remains valid down to near-threshold 85Â eV case.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Nuclear Materials - Volume 496, 1 December 2017, Pages 18-23
Journal: Journal of Nuclear Materials - Volume 496, 1 December 2017, Pages 18-23
نویسندگان
E. Marenkov, K. Nordlund, I. Sorokin, A. Eksaeva, K. Gutorov, J. Jussila, F. Granberg, D. Borodin,