کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8033406 | 1517994 | 2016 | 28 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Comparative study of Au/Ti, Au/V and Au/Zr films oxygen gettering ability
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this work, thermal diffusion of titanium, vanadium and zirconium through a thin capping gold layer has been investigated and compared in terms of oxygen gettering ability after activation at low temperature. The films were characterized by means of sheet resistance measurements, high resolution Scanning Electron Microscopy, Ion Beam Etching coupled with Secondary Ions Mass Spectrometry, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectrometry and mechanical stress measurements. Results show that, among investigated bilayers, gold/zirconium system is the best candidate to get low temperature getter film as its activation temperature is below 200 °C for 1 h annealing time.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 543-549
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 543-549
نویسندگان
M. Wu, J. Moulin, P. Coste, S. Perrot, J.-L. Perrossier, C. Renard, A. Bosseboeuf,