کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8130098 1523186 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Analysis of the metal layer thickness influence on the dispersion characteristics of acoustic waves propagating in the layered piezoelectric structure “Me/AlN/Me/diamond”
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل ضخامت لایه های فلزی بر ویژگی های پراکندگی امواج صوتی که در ساختار پیزوالکتریک لایه بندی شده اند، من / آلن / من / دیاموندا؟
کلمات کلیدی
ساختار لایه پیزوالکتریک، رلی و عشق حالت، حساسیت جرمی، نفوذ لایه فلزی، الماس، نیترید آلومینیوم،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه فیزیک و نجوم آکوستیک و فرا صوت
چکیده انگلیسی
The paper presents the results of computer simulation of the acoustic waves propagation in piezoelectric layered structures based on diamond substrate under the influence of various metal film deposition. It has been observed that the maximum phase velocity change Δv/v is achieved with an “Au/(0 0 1) AlN/Au/(1 0 0) diamond” PLS configuration. However, if the acoustic impedance of the metal layer is greater than the acoustic impedance of the substrate, an elastic wave reflection can be observed, reducing the Δv/v quantities. Obtained results may be useful in the development of resonant and sensor acousto-electronic devices based on the Rayleigh and Love waves.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultrasonics - Volume 83, February 2018, Pages 188-193
نویسندگان
, , ,