کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
851873 | 909342 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Two-dimensional optical micro-scanner on silicon technology
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A two-dimensional optical micro-scanner, which main components are two mobile flat and a concave micro-mirrors, is designed such that, all optical components can be fabricated on the same substratum. The optical parameters, which physical dimensions are between 50 and 500 μm, are obtained within the geometrical optics. The optical performance is evaluated by means of the MTF and Rayleigh resolution criteria, given 80% of modulation for a frequency of 8 cycles/mm with a Gaussian source, the resolution limit is 30 μm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 121, Issue 9, May 2010, Pages 843–846
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 121, Issue 9, May 2010, Pages 843–846
نویسندگان
Gabriela Molar-Velázquez, Francisco J. Renero-Carrillo, Wilfrido Calleja-Arriaga,