کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4971020 1450309 2017 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Releasable SU-8 structures for various microfabrication processes using a water-soluble sacrificial layer
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Releasable SU-8 structures for various microfabrication processes using a water-soluble sacrificial layer
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 172, 25 March 2017, Pages 49-54
نویسندگان
, , ,