کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5006097 | 1461386 | 2017 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Single lithography-step self-aligned fabrication process for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
ترجمه فارسی عنوان
لیزر تک لایتوگرافی گام به گام خود ساختگی برای لایه های سطحی انتشار عمودی حفره
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی
We demonstrate a self-aligned process to fabricate Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers (VCSEL) which combines, within a single lithographic step the mesa etch, the surface passivation, the opening of the emission window and the top annular metallization. This process flow, based on a double photoresist layer enabling two lift-off steps, offers great advantages such as easy and fast implementation while insuring a perfect alignment between the emitting window, the passivation layer aperture and the metal-ring contact. VCSEL fabrication is drastically simplified and its repeatability improved. Finally, this process can be advantageously applied to other photonic devices such waveguide-ridge lasers, modulators, LED, etc.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 61, April 2017, Pages 35-38
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 61, April 2017, Pages 35-38
نویسندگان
Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Benjamin Reig, Nicolas Mauran, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau,