کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354896 1503597 2016 26 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 370, 1 May 2016, Pages 117-125
نویسندگان
, , ,