کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5368575 | 1388400 | 2006 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural-optical study of high-dielectric-constant oxide films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
High-k polycrystalline Pr2O3 and amorphous LaAlO3 oxide thin films deposited on Si(0Â 0Â 1) are studied. The microstructure is investigated using X-ray diffraction and scanning electron microscopy. Optical properties are determined in the 0.75-6.5Â eV photon energy range using spectroscopic ellipsometry. The polycrystalline Pr2O3 films have an optical gap of 3.86Â eV and a dielectric constant of 16-26, which increases with film thickness. Similarly, very thin amorphous LaAlO3 films have the optical gap of 5.8Â eV, and a dielectric constant below 14 which also increases with film thickness. The lower dielectric constant compared to crystalline material is an intrinsic characteristic of amorphous films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 1, 31 October 2006, Pages 322-327
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 1, 31 October 2006, Pages 322-327
نویسندگان
M. Losurdo, M.M. Giangregorio, M. Luchena, P. Capezzuto, G. Bruno, R.G. Toro, G. Malandrino, I.L. Fragalà , R. Lo Nigro,