کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539746 | 1450393 | 2010 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of Fresnel zone plates with 25 nm zone width using extreme ultraviolet holography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this article we report the fabrication of Fresnel zone plates (FZP) by recording the interference pattern of converging and diverging spherical waves at extreme ultraviolet wavelength (λ=13.5nm). The spherical waves are generated by two concentric annular parent zone plates. The recorded pattern shows a factor of two reduction in the smallest feature size (outermost zone width) compared to its parent counterparts that generate the spherical waves. FZPs with a zone width down to 16 nm have been recorded with this technique. We also present scanning transmission X-ray microscopy (STXM) results taken with a zone plate with 25 nm outermost zone width.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issues 5–8, May–August 2010, Pages 854–858
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issues 5–8, May–August 2010, Pages 854–858
نویسندگان
Sankha S. Sarkar, Harun H. Solak, Jörg Raabe, Christian David, J. Friso van der Veen,