کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
543411 | 1450394 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrical properties of atomic-layer-deposited La2O3 films using a novel La formamidinate precursor and ozone
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
La2O3 films were grown by atomic layer deposition technique using a novel formamidinate precursor, tris(N,N′-diisopropylformamidinato) lanthanum [La(iPrfAMD)3], with H2O and O3 as an oxidant. La2O3 films grown with H2O in the film exhibited a parasitic chemical vapor deposition type growth possibly due to a La(OH)x component. However, the use of O3 as the oxidant revealed a stable ALD process window. A post-deposition annealing (PDA) of the deposited La2O3 films using O3 significantly reduces leakage current density by four orders of magnitude relative to as-deposited samples. The dielectric constant of La2O3 films with a TaN metal gate is found to be ∼29, which is higher than reported values for CVD and ALD La2O3 films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 86, Issues 7–9, July–September 2009, Pages 1658–1661
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 86, Issues 7–9, July–September 2009, Pages 1658–1661
نویسندگان
B. Lee, T.J. Park, A. Hande, M.J. Kim, R.M. Wallace, J. Kim, X. Liu, J.H. Yi, H. Li, M. Rousseau, D. Shenai, J. Suydam,