Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target

ترکیبی از محاسبات و آزمایش ها، ساختار انرژی و ذرات ذرات را به سمت سوبسترا در طی عملیات سیستم اسپاتن مگنترون با یک هدف مایع فیزیکی نشان داده است. سهم این فلاکس ها که توسط مکانیزم های مختلف در طیف وسیعی از قدرت مگنترون شکل گرفته است، نیز کشف شده است. تجزیه و تحلیل خواص ساختاری و مکانیکی فیلم های مس که در نسبت های مختلف انرژی و ذرات نسبت به زیره قرار داده شده اند انجام شده است. یافته شده است که در تبخیر شدید سطح پوشش صاف و یکنواخت و اندازه دانه ها کاهش می یابد. خواص مکانیکی پوشش ها (چسبندگی و میکروشوئی) در مقادیر بالاتری نسبت به مواردی که مربوط به اسپاشیدن هستند، بیشتر است.