کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5466320 1517987 2017 28 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Experimental study by Secondary Ion Mass Spectrometry focused on the relationship between hardness and sputtering rate in hard coatings
ترجمه فارسی عنوان
مطالعه تجربی توسط اسپکترومتری توده یونی ثانویه بر رابطه بین سختی و میزان اسپری شدن در پوشش های سخت متمرکز بود
کلمات کلیدی
میزان اسپری، طیف کروی یونی ثانویه، نانو انداختن، کربن الماس مانند، میکروسکوپ نیروی اتمی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
The applicability of this approach has been experimentally tested on several kind of hard coating films (as ZrN, TiN, TiAlCN et al.), including diamond-like (DLC) carbon materials. Some initial results pointed out the possibility to find a direct relationship between hardness and sputter rate, pointing out a good agreement with previous works. Nevertheless, detailed tests showed evident problems on DLC coatings. In this case the dependence between ion beam sputter rate and hardness is not evident and far to fit other experimental data. In our hypothesis this effect is related to the different nature of hardness on DLC materials.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 625, 1 March 2017, Pages 35-41
نویسندگان
, , , , , ,