کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5467572 | 1398939 | 2017 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sputtering measurements using a quartz crystal microbalance as a catcher
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری های پاشش با استفاده از یک میکروبازار کریستال کوارتز به عنوان یک چاک دهنده
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
پرتقال، فرسایش، کوارتز کریستال-میکرو متعادل، گیرنده، تعامل یونی سطح،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
A quartz crystal microbalance (QCM) catcher setup for sputter yield measurements is described. In this setup a QCM is placed next to the sputter target and acts as a catcher for sputtered material. The sputter yield evaluation relies on assumptions about the angular distribution of sputtered particles and reflected primary projectiles taken from simulations as well as on the knowledge of the sticking coefficient. To test this new setup a second QCM with a Au layer was used as a sputter target. The measured ratio between target and catcher signal is well reproduced in the simulations demonstrating the feasibility of reconstructing the sputtering yield from the catcher signal.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 406, Part B, 1 September 2017, Pages 533-537
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 406, Part B, 1 September 2017, Pages 533-537
نویسندگان
Bernhard M. Berger, Paul S. Szabo, Reinhard Stadlmayr, Friedrich Aumayr,