Impact of different capping layers on carrier injection efficiency between amorphous and crystalline silicon measured using photoluminescence

سیلیکون آمورف درونی، سطح سیلیکون کریستالی را به طور قابل توجهی افزایش می دهد. قبلا نشان داده شده است که حامل هایی که عکس های تولید شده در سیلیکون آمورف را می توان به طور موثر به صورت الکترونیکی به سیلیکون بلور تزریق می شود. اخیرا روش برای اندازه گیری کارآیی چنین تزریق حامل با استفاده از پاسخ طیفی فوتولومینسانس به اثبات رسیده است. این روش بدون تماس است و می توان آن را به سازه های ناقص دستگاه اعمال کرد. در اینجا ما از این تکنیک برای اندازه گیری دستگاه های تقلبی نیمه کاره با لایه های مختلف پوشش استفاده می کنیم تا بتوانند تاثیر آن بر کارایی تزریق حامل را کم کنند. نشان داده شده است که نیترید سیلیکون روی سیلیسیم آمورف تاثیر کمتری بر راندمان تزریق حامل نهایی از لایه آمورف دارد، اما از سوی دیگر، اثر قوی بر روی راندمان تزریق حامل تاثیر می گذارد. یک مدل برای درک خواص مادی لایه آمورف ساخته شده است. کاهش کارآیی تزریق حامل با لایه های سلب شده سیلیکون آمورف دوتایی به نقص های بزرگ در لایه دوپینگ منجر شد.