کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8032242 | 1517680 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preferred orientation, phase transition and hardness for sputtered zirconium nitride films grown at different substrate biases
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠The preferred orientation changes with increasing the substrate bias voltage. ⺠A high density Zr3N4 phase appears under a high substrate bias voltage. ⺠The hardness changes due to the variety of structure and grain size of the films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Issues 8â9, 25 January 2011, Pages 2865-2870
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Issues 8â9, 25 January 2011, Pages 2865-2870
نویسندگان
Q.N. Meng, M. Wen, C.Q. Qu, C.Q. Hu, W.T. Zheng,