کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
805377 | 905138 | 2009 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-accuracy displacement metrology and control using a dual Fabry-Perot cavity with an optical frequency comb generator
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A displacement metrology and control system using an optical frequency comb generator and a dual Fabry-Perot cavity is developed with sub-nm accuracy. The optical frequency comb generator has expanded the displacement measurement range and the dual cavity system has suppressed the environmental fluctuation. We evaluated the absolute uncertainty of the developed displacement measurement system to be approximately 190 pm for the displacement of 14 μm and the accurate displacement control using a phase-locked loop was demonstrated with a resolution of approximately 24 pm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 33, Issue 2, April 2009, Pages 187–193
Journal: Precision Engineering - Volume 33, Issue 2, April 2009, Pages 187–193
نویسندگان
Youichi Bitou,