کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9812931 | 1518122 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The effect of RF power on tribological properties of the diamond-like carbon films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
DLC thin films were prepared by radio frequency (RF) plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method on silicon substrates using methane (CH4), hydrogen (H2) and gas mixture. We have checked the influence of varying RF power on DLC film. The Raman spectroscopy shows the diamond-like carbon (DLC) amorphous structure of the films. AFM images show the surface roughness of the DLC film decrease with increasing RF power. Also, the friction coefficients were investigated by atomic force microscope (AFM) in friction force microscope (FFM) mode.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 475, Issues 1â2, 22 March 2005, Pages 287-290
Journal: Thin Solid Films - Volume 475, Issues 1â2, 22 March 2005, Pages 287-290
نویسندگان
Won Seok Choi, Jinhee Heo, Ilsub Chung, Byungyou Hong,