کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1661271 | 1517693 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Chromium oxide-based multilayer coatings deposited by reactive magnetron sputtering in an industrial setup
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Chromium oxide-based multilayers were deposited by reactive magnetron sputtering in an industrial setup by employing one-fold substrate rotation and cyclic variation of the O2 flow. This simple method allows deposition of multilayers comprising alternating layers of ~ 1 μm thickness of columnar α-Cr2O3 and mixed layers consisting of ~ 50 nm-thick sublayers of amorphous CrOx and nanocrystalline Cr2O3.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 203, Issues 1â2, 25 October 2008, Pages 156-159
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 203, Issues 1â2, 25 October 2008, Pages 156-159
نویسندگان
P. Eklund, N.-J. Mikkelsen, M. Sillassen, E.J. Bienk, J. Bøttiger,