کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10282131 | 502014 | 2005 | 11 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Development of an inter-process linkage technology for fluoro-nitric acid washing-agent and its LCA evaluation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی انرژی
مهندسی انرژی و فناوری های برق
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Fluoro-nitric acid used in the semiconductor industry as a washing agent is of high purity and high concentration (fluoric acid: 23.3%, nitric acid: 16.6%). It is recovered using separation and control in the semiconductor industry. A technology for utilizing this acid byproduct as a pickling solution for stainless steel sheets in the steel industry was developed. The results of a Life-Cycle Assessment study showed that a cascade of 10 tons of acid byproducts reduces energy consumption by 4.0 tons in crude oil conversion value, CO2 emissions by 4.3 tons, and sludge generation by 24.8 tons.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Energy - Volume 80, Issue 2, February 2005, Pages 213-223
Journal: Applied Energy - Volume 80, Issue 2, February 2005, Pages 213-223
نویسندگان
Hiroshi Uesugi, Tomohiro Suginaka, Masashi Fujiwara, Yuki Kuwauchi, Masahiko Hirao,